공진기(helical resonator)가 Mhz
주파수 영역에서 작동
저압 플라즈마의 생성
장점
◆ 강한 자기장이 필요 없음
◆ 비교적 저렴한 RF전력 사용
◆ 저압에서 플라즈마 점화가 용이
단점
◆ 반응실과 공정실이 분리
2-3. Radical 이란?
1) Radical (Free Radical)
1개 또는 그 이상의 짝짓지 않은 전자를
원형의 유도전기장 발생
플라즈마 내 전자가 전기장 방향 따라 가속되어 에너지 얻음
고밀도 플라즈마 형성
3) ICP의 장단점
4) Helical 공명장치
ICP의 한 형태(차이점 : 공진을 이용)
나선형 공진기(helical resonator)가 Mhz
주파수 영역에서 작동
저압 플라즈마의 생성
장점
최근에 이르러 우리는 레이저란 단어를 매스컴을 통해서나 주위로부터 자주 듣게 된다. 이것은 레이저의 응용 범위가 넓어지면서 우리의 일상생활과 점점 밀접한 관계를 갖게 되었기 때문이다. 레이저 프린터, 레이저수술, 레이저 조면, 레이저에 의한 용접등 레이저란 말이 상당히 익숙해져 있으나 최
<레이저란 무엇인가?>
1.레이저의 개념
1) 레이저란?
- 레이저(laser)란 Light Amplification by the Stimulated Emission of Radiation 이란 영어의 각 단어 머리글을 따서 조합한 합성어로서 우리말로 하면 "복사의 자극방출에 의한 빛의 증폭"을 뜻한다. 일반적으로 레이저란 말은 레이저 빛을 발생하는 장치를 지칭
레이저란 무엇인가 ?
최근에 이르러 우리는 레이저란 단어를 매스컴을 통해서나 주위로부터 자주 듣게 된다. 이것은 레이저의 응용 범위가 넓어지면서 우리의 일상생활과 점점 밀접한 관계를 갖게 되었기 때문이다. 여러분은 레이저 프린터, 레이저수술, 레이저 조면, 레이저에 의한 용접등 레이저란